EL-FLOW® Metal Sealed
Para fornecimento de gás de alta pureza. Os medidores e controladores de fluxo de massa de gás de selagem metálica de Bronkhorst caracterizam-se pela sua construção única e internacionalmente patenteada com excelente capacidade de re-selagem. Além disso, distinguem-se por uma elevada qualidade de superfície e são, portanto, especialmente adequados para satisfazer os requisitos da indústria de semicondutores e solar, bem como outras aplicações de gás de alta pureza. Os blocos base dos Medidores e Controladores de Fluxo de Massa têm conexões de 1/4″ de vedação facial macho (VCR).
Gama mais baixa 0,12…6 mln/min
Gama mais alta 1… 50 ln/min
Construção de vedação externa metal-metal re-selável (sem anéis)
Superfície de alta qualidade nas partes molhadas
Sala limpa montada
E/S analógica e digital, com interface opcionalmente integrada para CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK ou FLOW-BUS
Elevada precisão e repetibilidade
Controlo estável, mesmo com processos de volumes variáveis