UL1000 FAB

O INFICON UL1000 Fab Helium Leak Detector é reconhecido quando se trata de testes económicos de fuga de hélio a vácuo em ambientes industriais ou semicondutores.

UL1000 FAB

Detector de fugas de hélio móvel (seco) para o teste de fugas de vácuo no fabrico industrial de vácuo e semicondutores.

O INFICON UL1000 Fab Helium Leak Detector é reconhecido quando se trata de testes económicos de fuga de hélio a vácuo em ambientes industriais ou semicondutores.

A potencial contaminação das peças ou equipamentos testados por compostos de carbono hidrogénio ou partículas, é eliminada através da tecnologia de bomba seca do instrumento. O UL1000 Fab proporciona o melhor compromisso entre alto desempenho, robustez inigualável, e acessibilidade económica. Fornece limites de detecção de última geração de 10-12 mbar*l/s combinados com um tempo de paragem da bomba razoavelmente curto e tempo de resposta. O design compacto proporciona alta manobrabilidade permitindo fácil acesso a áreas de manutenção com espaço restrito. A supressão de fundo selecionável (iZERO) permite o teste contínuo de fugas dentro de pelo menos duas décadas abaixo dos níveis de fundo existentes.

 

APLICAÇÕES:

Fabrico de equipamento de vácuo industrial com grande procura de limpeza

Componentes ou subconjuntos de vácuo antes de serem instalados em ferramentas existentes

Trabalhos de manutenção de ferramentas de vácuo, com ou sem apoio da sua própria bomba

Inspecções e instalações de sistemas de gás

Fabrico de semicondutores, ecrã plano ou de células solares

IMAGENS DE PRODUTO

VIDEOS

CATÁLOGOS

TipoDry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
Taxa mínima de fuga detectável para o Hélio (modo de vácuo)mbar•L/s< 5 • 10-12
Taxa mínima de fuga detectável para o Hélio (modo Sniffer)mbar•L/s< 5·10-8
Máx. Modo de pressão de entrada GROSSmbar15
Máx. Pressão de entrada Modo FINAmbar2
Máx. Pressão de entrada modo ULTRAmbar0.4
Velocidade de bombagem durante a evacuaçãom³/h25 at 50 Hz
Velocidade de bombagem de hélio modo ULTRAL/s2.5
Massas detectáveis2,3,4 amu
Campo de espectrómetro de massa 180°
Filamentos fonte iónica Iridium/Yttria coated2
Calibração de fuga incorporadambar•L/s∼ 10-7
Porta de testeDN 25 KF1
Botões ajustáveis2
InterfaceRS 232
Saída do registador de gráficosV2 x10
Entradas/saídasPLC compatible
Temperatura ambiente permissível (durante o funcionamento)°C+10 to +40
PesoKg110
Dimensões (C x L x A)mm41 x 19 x 39
Fonte de tensão (UE)V (ac)230 (± 10 %) 50 Hz
Consumo de energia (máx.)VA1100