UL1000 FAB
Detector de fugas de hélio móvel (seco) para o teste de fugas de vácuo no fabrico industrial de vácuo e semicondutores.
O INFICON UL1000 Fab Helium Leak Detector é reconhecido quando se trata de testes económicos de fuga de hélio a vácuo em ambientes industriais ou semicondutores.
A potencial contaminação das peças ou equipamentos testados por compostos de carbono hidrogénio ou partículas, é eliminada através da tecnologia de bomba seca do instrumento. O UL1000 Fab proporciona o melhor compromisso entre alto desempenho, robustez inigualável, e acessibilidade económica. Fornece limites de detecção de última geração de 10-12 mbar*l/s combinados com um tempo de paragem da bomba razoavelmente curto e tempo de resposta. O design compacto proporciona alta manobrabilidade permitindo fácil acesso a áreas de manutenção com espaço restrito. A supressão de fundo selecionável (iZERO) permite o teste contínuo de fugas dentro de pelo menos duas décadas abaixo dos níveis de fundo existentes.
APLICAÇÕES:
Fabrico de equipamento de vácuo industrial com grande procura de limpeza
Componentes ou subconjuntos de vácuo antes de serem instalados em ferramentas existentes
Trabalhos de manutenção de ferramentas de vácuo, com ou sem apoio da sua própria bomba
Inspecções e instalações de sistemas de gás
Fabrico de semicondutores, ecrã plano ou de células solares
IMAGENS DE PRODUTO
VIDEOS
CATÁLOGOS
Tipo | Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab | ||
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Taxa mínima de fuga detectável para o Hélio (modo de vácuo) | mbar•L/s | < 5 • 10-12 | |
Taxa mínima de fuga detectável para o Hélio (modo Sniffer) | mbar•L/s | < 5·10-8 | |
Máx. Modo de pressão de entrada GROSS | mbar | 15 | |
Máx. Pressão de entrada Modo FINA | mbar | 2 | |
Máx. Pressão de entrada modo ULTRA | mbar | 0.4 | |
Velocidade de bombagem durante a evacuação | m³/h | 25 at 50 Hz | |
Velocidade de bombagem de hélio modo ULTRA | L/s | 2.5 | |
Massas detectáveis | 2,3,4 amu | ||
Campo de espectrómetro de massa | 180° | ||
Filamentos fonte iónica Iridium/Yttria coated | 2 | ||
Calibração de fuga incorporada | mbar•L/s | ∼ 10-7 | |
Porta de teste | DN 25 KF | 1 | |
Botões ajustáveis | 2 | ||
Interface | RS 232 | ||
Saída do registador de gráficos | V | 2 x10 | |
Entradas/saídas | PLC compatible | ||
Temperatura ambiente permissível (durante o funcionamento) | °C | +10 to +40 | |
Peso | Kg | 110 | |
Dimensões (C x L x A) | mm | 41 x 19 x 39 | |
Fonte de tensão (UE) | V (ac) | 230 (± 10 %) 50 Hz | |
Consumo de energia (máx.) | VA | 1100 |