UL6000 FAB

O UL6000 Fab  foi concebido para satisfazer as mais críticas e exigentes aplicações de detecção de fugas, fornecendo flexibilidade, alta sensibilidade e resultados rápidos e precisos tornando qualquer aplicação de detecção de fugas rápida e fácil. A UL6000 proporciona tempos de resposta mais rápidos em todas as gamas de medição e ciclos de tempo extremamente curtos para alcançar condições de ensaio e resultados finais. A arquitectura de vácuo especialmente concebida, proporciona as velocidades de bombagem de hélio elevadas e contínuas e os tempos de resposta extremamente rápidos que se exigem.

A detecção de fugas é simultaneamente demorada e complexa. Ao medir a taxa de crescimento, o equipamento semicondutor e de vácuo é continuamente monitorizado durante o funcionamento. Após a indicação de fugas por este teste de fugas integral, as posições de fuga são então localizadas utilizando o método de pulverização de hélio, permitindo a reparação necessária. A isto segue-se outro teste de fuga usando o aumento de pressão ou a chamada medição do decaimento do vácuo – um processo complexo que precisa de ser repetido até que todas as fugas sejam detectadas. Além disso, para ser o mais preciso possível, os tempos de medição para este procedimento são muitas vezes particularmente longos para grandes volumes de equipamento. Graças ao I-RISE, a nossa característica de Taxa de Aumento Inteligente, o novo UL6000 Fab PLUS realiza agora a medição do aumento de pressão por si só e combina-a com o método de pulverização de hélio. O nosso sistema patenteado permite que os tempos de medição diminuam drasticamente, e assim ajuda a minimizar tanto o tempo geral para testes de fugas como a manutenção do equipamento fab PLUS. Experimente resultados de medição ainda mais rápidos e mais precisos – em menos de 10 segundos, independentemente do volume da câmara.

ULTRATEST^® Tecnologia de sensores

HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) para permitir que as condições de teste sejam alcançadas

rapidamente

I-CAL (Intelligent – Calculation Algorithm for Leak Rates) para assegurar uma resposta rápida  a fugas em todas as faixas de medição

Uma bomba turbomolecular de entrada múltipla que fornece velocidades de bombagem de hélio elevadas, optimizadas com alta compressão de hélio a todas as pressões para proporcionar excelente sensibilidade, resposta, e limpeza rápida.

Uma bomba turbomolecular booster para uma resposta extremamente rápida em qualquer objecto de teste, incluindo os maiores volumes e câmaras

Características de auto-protecção para proteger o UL6000 da contaminação por hélio e partículas e até mesmo um ciclo de auto-purga para assegurar que o UL6000 está pronto quando for necessário

Um visor rotativo / interface de controlo e um controlador manual remoto opcional para flexibilidade operacional

O controlo de acesso à unidade e ao software do sistema pode ser activado através do software para impedir o uso não autorizado ou modificações não intencionais nas configurações de teste.

Actualizações de software via e-mail para manter o UL6000 com o melhor desempenho

UL6000 Fab PLUS – Vantagens adicionais

Com I-RISE, taxa de crescimento inteligente: Permite testar o aumento da pressão no dispositivo, combinado com o método de pulverização de hélio

Taxa de medições em menos de 10 segundos

Ajuda a minimizar o tempo geral para testes de fugas e manutenção do equipamento fabril

Mais velocidade, mais precisão

APLICAÇÕES:

Ensaio de fugas de componentes, subconjuntos e grandes câmaras utilizadas em ferramentas de visualização de semicondutores e painéis planos

Teste de fugas de ferramentas semicondutoras e de painel plano

Teste de fugas de componentes, subconjuntos e sistemas aeroespaciais

Teste de fugas de recipientes de armazenamento/depósitos.