UL3000 FAB ULTRA
Detector de fugas de hélio móvel (seco) e UL3000 Fab Detector de fugas de hélio móvel, especificamente concebido para as necessidades de controlo de fugas em aplicações semicondutoras.
Apresenta flexibilidade, mobilidade, arranque rápido, alta sensibilidade, resultados de testes rápidos e precisos, e fiabilidade.
O UL3000 Fab ULTRA oferece também uma capacidade melhorada de sniffer, utilizando a bem comprovada linha de sniffers SL3000 que tem até 10 m de comprimento. O SL3000 tem uma porta de ligação separada, pelo que não é necessária qualquer ligação à entrada de
vácuo. Verificação de fugas mais eficiente usando I-ZERO 2.0 com função inteligente melhorada para supressão rápida do fundo, mantendo ao mesmo tempo uma alta sensibilidade de medição.
APLICAÇÕES:
Fabrico de semicondutores
Fabrico de monitores de ecrã plano
Fabrico de células solares
Coating vidro
Coating & aplicações gerais de vácuo
IMAGENS DE PRODUTO
CATÁLOGOS
| Tipo | UL3000 Fab | UL3000 Fab ULTRA | |
|---|---|---|---|
| Taxa mínima de fuga detectável para hélio (método de vácuo) | <5 x 10-12 mbar l/s | ||
| Taxa mínima de fuga detectável para hélio (modo sniffer) | <5 x 10-8 mbar l/s | ||
| Pressão de entrada máxima (modo MASSIVO) | 1000 mbar | ||
| Velocidade de bombagem durante a evacuação | >32 m³/h | >36 m³/h | |
| Velocidade de bombagem do hélio (modo de alta sensibilidade ULTRA) | 4 l/s | ||
| Tempo de resposta | <1 s | ||
| Tempo até estar pronto para operação | <3 min | ||
| Massas detectáveis (tecnologia de sensor ULTRATEST) | 2, 3, 4 (H2, 3He, He) | ||
| Fonte de iões | 2 filamentos, revestidos de óxido de irídio/ítiria | ||
| Porta de teste | DN 25 KF | ||
| Botões ajustáveis | 4 | ||
| Interface | 2 x USB, Ethernet / LAN | ||
| Alimentação | 100 a 240 V 50/60 Hz (CA) | ||
| Consumo de energia | 700 VA, máximo. 1500 VA | ||
| Dimensões (C x L x A) | 1050 x 472 x 987 mm | ||
| Peso | 118 kg | 132 kg | |
| Intervalo de temperatura ambiente permissível (durante o funcionamento) | 10 a 40 °C | ||
| UL3000 Fab ULTRA | HYDRO-S, porta separada para linha de sniffer SL3000, suporte de mangueira de vácuo | ||