UL6000 FAB
O UL6000 Fab foi concebido para satisfazer as mais críticas e exigentes aplicações de detecção de fugas, fornecendo flexibilidade, alta sensibilidade e resultados rápidos e precisos tornando qualquer aplicação de detecção de fugas rápida e fácil. A UL6000 proporciona tempos de resposta mais rápidos em todas as gamas de medição e ciclos de tempo extremamente curtos para alcançar condições de ensaio e resultados finais. A arquitectura de vácuo especialmente concebida, proporciona as velocidades de bombagem de hélio elevadas e contínuas e os tempos de resposta extremamente rápidos que se exigem.
A detecção de fugas é simultaneamente demorada e complexa. Ao medir a taxa de crescimento, o equipamento semicondutor e de vácuo é continuamente monitorizado durante o funcionamento. Após a indicação de fugas por este teste de fugas integral, as posições de fuga são então localizadas utilizando o método de pulverização de hélio, permitindo a reparação necessária. A isto segue-se outro teste de fuga usando o aumento de pressão ou a chamada medição do decaimento do vácuo – um processo complexo que precisa de ser repetido até que todas as fugas sejam detectadas. Além disso, para ser o mais preciso possível, os tempos de medição para este procedimento são muitas vezes particularmente longos para grandes volumes de equipamento. Graças ao I-RISE, a nossa característica de Taxa de Aumento Inteligente, o novo UL6000 Fab PLUS realiza agora a medição do aumento de pressão por si só e combina-a com o método de pulverização de hélio. O nosso sistema patenteado permite que os tempos de medição diminuam drasticamente, e assim ajuda a minimizar tanto o tempo geral para testes de fugas como a manutenção do equipamento fab PLUS. Experimente resultados de medição ainda mais rápidos e mais precisos – em menos de 10 segundos, independentemente do volume da câmara.
ULTRATEST<sup>®</sup> Tecnologia de sensores
HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) para permitir que as condições de teste sejam alcançadas
rapidamente
I-CAL (Intelligent – Calculation Algorithm for Leak Rates) para assegurar uma resposta rápida a fugas em todas as faixas de medição
Uma bomba turbomolecular de entrada múltipla que fornece velocidades de bombagem de hélio elevadas, optimizadas com alta compressão de hélio a todas as pressões para proporcionar excelente sensibilidade, resposta, e limpeza rápida.
Uma bomba turbomolecular booster para uma resposta extremamente rápida em qualquer objecto de teste, incluindo os maiores volumes e câmaras
Características de auto-protecção para proteger o UL6000 da contaminação por hélio e partículas e até mesmo um ciclo de auto-purga para assegurar que o UL6000 está pronto quando for necessário
Um visor rotativo / interface de controlo e um controlador manual remoto opcional para flexibilidade operacional
O controlo de acesso à unidade e ao software do sistema pode ser activado através do software para impedir o uso não autorizado ou modificações não intencionais nas configurações de teste.
Actualizações de software via e-mail para manter o UL6000 com o melhor desempenho
UL6000 Fab PLUS – Vantagens adicionais
Com I-RISE, taxa de crescimento inteligente: Permite testar o aumento da pressão no dispositivo, combinado com o método de pulverização de hélio
Taxa de medições em menos de 10 segundos
Ajuda a minimizar o tempo geral para testes de fugas e manutenção do equipamento fabril
Mais velocidade, mais precisão
APLICAÇÕES:
Ensaio de fugas de componentes, subconjuntos e grandes câmaras utilizadas em ferramentas de visualização de semicondutores e painéis planos
Teste de fugas de ferramentas semicondutoras e de painel plano
Teste de fugas de componentes, subconjuntos e sistemas aeroespaciais
Teste de fugas de recipientes de armazenamento/depósitos.
IMAGENS DE PRODUTO
CATÁLOGOS
Tipo | UL6000 Fab | UL6000 Fab PLUS | |
---|---|---|---|
Taxa mínima de fuga detectável para Hélio (modo de vácuo) | mbar•L/s | < 5 • 10-12 | < 5 • 10-12 |
Taxa mínima de fuga detectável para o Hélio (modo sniffer) | mbar•L/s | < 5 • 10-8 | < 5 • 10-8 |
Velocidade máxima de bombagem da bomba de desgaste | m³/h | >36 | >36 |
Máx. Velocidade de bombagem de hélio (Modo ULTRA) | L/s | >36 | >36 |
Tempo de resposta para 50 L | s | 1.4 | 1.4 |
Tempo de ventilação de 50 L para atm. | s | 16 | 16 |
Tempo de evacuação até 1 mbar 50 L | s | 52 | 52 |
Tempo de arranque | s | <2 min. | <2 min. |
Tempo de calibração | s | <30 | <30 |
Tempo para medição da taxa de crescimento (I-RISE) | s | − | <10 |
Flange de entrada | DN63 ISO-K | DN63 ISO-K | |
Massas detectáveis (Tecnologia de sensor ULTRATEST) | 2, 3, 4 (H2, 3He, He) | 2, 3, 4 (H2, 3He, He) | |
Voltagem de alimentação | 100 to 240 V 50/60 Hz (AC) | 100 to 240 V 50/60 Hz (AC) | |
Máx. Consumo de energia | VA | 1500 | 1500 |
Tipo. Consumo de energia | VA | 700 | 700 |
Dimensões (CxLxA) | MM | 1050x427x1040 | 1050x427x1040 |
Peso | KG | 143 | 144 |